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(주)펀솔루션테크놀러지

Product (주)펀솔루션테크놀러지

Evaporator

ItemDescriptionRemark
Chamber typeSquare & Vertical
MaterialsStainless steel
Vacuum gaugeFull Range Gauge
Hi-vac. pumpCryo Pump
Low-vac. pumpDry Pump
Substrate movingRotation : 0~30rpm
Up/down -Tray moving
Wall heatingBy micro sheath heater
Control temp : 80 degree		Heater base

Evaporation Source

Low Temp Cell (20cc & 40cc)

TypeSpec
PointOperation Temperature: ~ 500℃
Volume(cc) : 10, 20, 40,150

Evaporation Source

High Temp Cell (20cc & 500cc)

TypeSpec
PointOperation Temperature: ~ 1500℃
Volume(cc) : 5, 10, 20, 50, 150, 250, 500

Linear source concept

TypeSpec
LinearOperation Temperature : ~ 500℃
Volume(cc) : 8000cc (TBD)

Point array concept

TypeSpec
PointOperation Temperature : ~ 1500℃
Volume(cc) : 500cc revolver type

OLED R&D 및 양산 증착장비 공정기술

  • 200*200 및 6GH 다수 공정 Set-up 및 FAT완료
  • 6GH 신규 공정기술 개발 (Linear Point Source)
  • 200*200 및 6GH 다수 H/W Set-up 및 FAT

박막태양전지 공정기술

  • CIGS 박막태양전지 국책과제 수행 및 공정개발
  • PVSK 증착공정 및 Rate control sensor 장비 개발
  • 양산 Selenium Evaporation 공정 Set-up및 FAT

Crystal Sensor

TypeSpec.
Sensor6MHz Gold

SiC Thermo-ball

TypeSpec.
GranuleGranule Size : 1~3mm
Quantity : 500g, 1kg

Agency

  • 선진유수기업 연계

국산화(수입대체)

  • 핵심고부가가치 부품
  • 친환경 소재 및 부품

진공부품, 장비개조

진공챔버, Bellows 배관, Gas line etc.

위탁장비개발 / 기술컨설턴트

H/W 및 공정기술

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